Sample holder, method for use of the sample holder, and charged particle device

WO2010122717 Art A1 28. Oktober 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010122717
Aktenzeichen: EP10766780
Anmeldetag: 7. April 2010
Veröffentlichung: 28. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G01N1/28H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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