Method for manufacturing iii nitride crystal substrate
WO2010122933
Art A1
28. Oktober 2010
Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010122933
- Aktenzeichen
- EP10766990
- Anmeldetag
- 14. April 2010
- Veröffentlichung
- 28. Oktober 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/38C30B25/18H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokuyama Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokuyama
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.
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