Method for manufacturing iii nitride crystal substrate

WO2010122933 Art A1 28. Oktober 2010

Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010122933
Aktenzeichen
EP10766990
Anmeldetag
14. April 2010
Veröffentlichung
28. Oktober 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/38C30B25/18H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokuyama Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

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