Composition for forming film for pattern reversal and method of forming reversed pattern

WO2010123032 Art A1 28. Oktober 2010

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010123032
Aktenzeichen
EP10767089
Anmeldetag
21. April 2010
Veröffentlichung
28. Oktober 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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