Vorrichtung zum Messen von Kräften, die auf eine Halbleiterscheibe Wirken

WO2010124807 Art A1 4. November 2010

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010124807
Aktenzeichen: EP10717052
Anmeldetag: 21. April 2010
Veröffentlichung: 4. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01L5/00H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Siltronic AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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