Secondary electron multiplier, ion detection device, and ion detection method

WO2010125671 Art A1 4. November 2010

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010125671
Aktenzeichen
EP09844015
Anmeldetag
30. April 2009
Veröffentlichung
4. November 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01J49/06H01J43/04H01J43/10H01J43/18H01J43/22H01J49/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Anelva Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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