Secondary electron multiplier, ion detection device, and ion detection method
WO2010125671
Art A1
4. November 2010
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010125671
- Aktenzeichen
- EP09844015
- Anmeldetag
- 30. April 2009
- Veröffentlichung
- 4. November 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J49/06H01J43/04H01J43/10H01J43/18H01J43/22H01J49/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
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