Movable stage, and conveying device and charged particle beam device both having same

WO2010125701 Art A1 4. November 2010

Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010125701
Aktenzeichen: EP09844044
Anmeldetag: 30. September 2009
Veröffentlichung: 4. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyocera Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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