WO2010125801

WO2010125801 Art A1 4. November 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010125801
Aktenzeichen
EP10769501
Anmeldetag
27. April 2010
Veröffentlichung
4. November 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C04B35/453C04B35/64
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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