Light irradiation method for light irradiation device and light irradiation device
WO2010125836
Art A1
4. November 2010
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010125836
- Aktenzeichen
- EP10769536
- Anmeldetag
- 27. Januar 2010
- Veröffentlichung
- 4. November 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02F1/13G02F1/1339G02F1/1341
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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