Cleaning sheet, conveyance member with cleaning function, cleaning method of substrate processing apparatus, and substrate processing apparatus

WO2010125909 Art A1 4. November 2010

Anmelder: Nitto Denko Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010125909
Aktenzeichen: EP10769608
Anmeldetag: 13. April 2010
Veröffentlichung: 4. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B08B1/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nitto Denko Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nitto Denko

Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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