Non-destructive signal propagation system and method to determine substrate integrity

WO2010128432 Art A2 11. November 2010

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010128432
Aktenzeichen: EP10772080
Anmeldetag: 28. April 2010
Veröffentlichung: 11. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N29/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von