Storage element and storage method

WO2010128615 Art A1 11. November 2010

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010128615
Aktenzeichen
EP10772138
Anmeldetag
14. April 2010
Veröffentlichung
11. November 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/8246G11C11/15H01L27/105H01L43/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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