Apparatus and system for cleaning substrate

WO2010129115 Art A2 11. November 2010

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010129115
Aktenzeichen: EP10772426
Anmeldetag: 30. März 2010
Veröffentlichung: 11. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/302H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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