Arrangements for detecting discontinuity of flexible connections for current flow and methods thereof

WO2010129229 Art A2 11. November 2010

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010129229
Aktenzeichen: EP10772492
Anmeldetag: 26. April 2010
Veröffentlichung: 11. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/34H05H1/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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