Solution based zirconium precursors for atomic layer deposition

WO2010132161 Art A1 18. November 2010

Anmelder: Linde AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010132161
Aktenzeichen: EP10775227
Anmeldetag: 12. April 2010
Veröffentlichung: 18. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Linde AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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