Methods and apparatus for automated predictive design space estimation

WO2010132224 Art A1 18. November 2010

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010132224
Aktenzeichen: EP10717972
Anmeldetag: 3. Mai 2010
Veröffentlichung: 18. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G06F17/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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