Method for forming uneven pattern

WO2010134176 Art A1 25. November 2010

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010134176
Aktenzeichen
EP09844909
Anmeldetag
20. Mai 2009
Veröffentlichung
25. November 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065G11B5/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kabushiki Kaisha Toshiba
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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