Radiation-sensitive resin composition and compound

WO2010134477 Art A1 25. November 2010

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010134477
Aktenzeichen: EP10777710
Anmeldetag: 14. Mai 2010
Veröffentlichung: 25. November 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C07C65/10C08F212/06C08F220/12C08F220/28G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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