Scanning electron microscope device, evaluation point generating method, and program

WO2010137586 Art A1 2. Dezember 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010137586
Aktenzeichen
EP10780541
Anmeldetag
25. Mai 2010
Veröffentlichung
2. Dezember 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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