Shape measuring device, shape measuring method, and production method

WO2010137637 Art A1 2. Dezember 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010137637
Aktenzeichen: EP10780591
Anmeldetag: 27. Mai 2010
Veröffentlichung: 2. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25G01B11/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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