Fluorine-containing compound, fluorine-containing polymer compound, resist composition, top coat composition and pattern formation method

WO2010140483 Art A1 9. Dezember 2010

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010140483
Aktenzeichen
EP10783267
Anmeldetag
20. Mai 2010
Veröffentlichung
9. Dezember 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C08F20/22C07C69/653C07C69/732C08F12/14C08F16/12C08F32/08G03F7/039G03F7/11
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Central Glass Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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