Method of improving crystal quality of paste-together substrate having sandblast processing implemented

WO2010140510 Art A1 9. Dezember 2010

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010140510
Aktenzeichen: EP10783294
Anmeldetag: 25. Mai 2010
Veröffentlichung: 9. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02B24C1/06H01L21/304H01L27/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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