Rotary flexure and air bearing support for rotary indexing system

WO2010141188 Art A1 9. Dezember 2010

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010141188
Aktenzeichen: EP10783766
Anmeldetag: 11. Mai 2010
Veröffentlichung: 9. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B23Q16/00B23Q16/02F16C32/06B23K37/04B23Q16/06B23Q16/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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