Adaptive Signature Detection

WO2010141337 Art A2 9. Dezember 2010

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010141337
Aktenzeichen
EP10783847
Anmeldetag
28. Mai 2010
Veröffentlichung
9. Dezember 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88G01R31/02G01B11/30G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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