Cutting method for workpiece

WO2010143354 Art A1 16. Dezember 2010

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010143354
Aktenzeichen
EP10785886
Anmeldetag
6. Mai 2010
Veröffentlichung
16. Dezember 2010
Rechtsraum
WO
IPC
B24B27/06B24B55/02B28D5/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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