Ion beam irradiation apparatus and method for suppressing ion beam spread

WO2010143479 Art A1 16. Dezember 2010

Anmelder: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD., Kyoto University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010143479
Aktenzeichen: EP10786010
Anmeldetag: 27. April 2010
Veröffentlichung: 16. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01L21/265

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD.
Kyoto University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyoto University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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