Microelectromechanical system (mems) device, method of operating the same, and method of forming the same

WO2010144051 Art A1 16. Dezember 2010

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010144051
Aktenzeichen: EP09845916
Anmeldetag: 11. Juni 2009
Veröffentlichung: 16. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B81B5/00G02B6/36G02B26/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology and Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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