Resin composition for nanoimprint, and method for forming structure

WO2010146766 Art A1 23. Dezember 2010

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010146766
Aktenzeichen: EP10789151
Anmeldetag: 13. Mai 2010
Veröffentlichung: 23. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02C08G59/24C08G59/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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