Alicyclic compound, production method therefor, composite containing said compound, and resist pattern forming method using same

WO2010146901 Art A1 23. Dezember 2010

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010146901
Aktenzeichen
EP10789278
Anmeldetag
12. März 2010
Veröffentlichung
23. Dezember 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C07J9/00G03F7/004G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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