Pattern inspection device and pattern inspection method
WO2010146927
Art A1
23. Dezember 2010
Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010146927
- Aktenzeichen
- EP10789304
- Anmeldetag
- 16. April 2010
- Veröffentlichung
- 23. Dezember 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N23/225
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advantest Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Fachgebiete
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