Vapor deposition device

WO2010147053 Art A1 23. Dezember 2010

Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation, TN EMC Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010147053
Aktenzeichen: EP10789428
Anmeldetag: 11. Juni 2010
Veröffentlichung: 23. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/458H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Taiyo Nippon Sanso Corporation
TN EMC Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von