Imprinting system, imprinting method, and computer storage medium

WO2010147056 Art A1 23. Dezember 2010

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010147056
Aktenzeichen: EP10789431
Anmeldetag: 11. Juni 2010
Veröffentlichung: 23. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B29C59/02B29C33/58B29C33/72H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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