Mask blank, transfer mask, and method for manufacturing transfer masks

WO2010147172 Art A1 23. Dezember 2010

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010147172
Aktenzeichen: EP10789546
Anmeldetag: 17. Juni 2010
Veröffentlichung: 23. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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