Method to synthesize graphene
WO2010148001
Art A1
23. Dezember 2010
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010148001
- Aktenzeichen
- EP10725350
- Anmeldetag
- 15. Juni 2010
- Veröffentlichung
- 23. Dezember 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/48C23C14/06C23C14/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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