Method to synthesize graphene

WO2010148001 Art A1 23. Dezember 2010

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010148001
Aktenzeichen
EP10725350
Anmeldetag
15. Juni 2010
Veröffentlichung
23. Dezember 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/48C23C14/06C23C14/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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