Methods and apparatus for simultaneously inspecting multiple array regions having different pitches

WO2010148343 Art A2 23. Dezember 2010

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010148343
Aktenzeichen
EP10790291
Anmeldetag
18. Juni 2010
Veröffentlichung
23. Dezember 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027G03F1/08G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

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