Object inspection systems and methods

WO2010149403 Art A1 29. Dezember 2010

Anmelder: ASML Netherlands BV, ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010149403
Aktenzeichen
EP10714446
Anmeldetag
13. April 2010
Veröffentlichung
29. Dezember 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/94G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands BV
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390 Patente in unserer Datenbank

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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