Object inspection systems and methods
Anmelder: ASML Netherlands BV, ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010149403
- Aktenzeichen
- EP10714446
- Anmeldetag
- 13. April 2010
- Veröffentlichung
- 29. Dezember 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/94G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands BV
ASML Holding N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
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Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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