Vacuum film forming apparatus and method for detecting position of shutter plate of vacuum film forming apparatus
WO2010150540
Art A1
29. Dezember 2010
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010150540
- Aktenzeichen
- EP10791862
- Anmeldetag
- 23. Juni 2010
- Veröffentlichung
- 29. Dezember 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/34C23C14/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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