Optical element, illumination apparatus, exposure apparatus, and method for manufacturing device

WO2010150550 Art A1 29. Dezember 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010150550
Aktenzeichen: EP10791872
Anmeldetag: 25. Juni 2010
Veröffentlichung: 29. Dezember 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/00C01B31/02G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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