Method for manufacturing silicon structure, device for manufacturing same, and program for manufacturing same

WO2011001778 Art A1 6. Januar 2011

Anmelder: Sumitomo Precision Products Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011001778
Aktenzeichen: EP10793949
Anmeldetag: 2. Juni 2010
Veröffentlichung: 6. Januar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Precision Products Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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