Etching method and etching treatment apparatus

WO2011004770 Art A1 13. Januar 2011

Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha, Sumitomo Precision Products Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011004770
Aktenzeichen: EP10797081
Anmeldetag: 2. Juli 2010
Veröffentlichung: 13. Januar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306G02F1/1343

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sharp Kabushiki Kaisha
Sumitomo Precision Products Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sharp

Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.

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🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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