Copolymer for lithography and method for evaluating same

WO2011004787 Art A1 13. Januar 2011

Anmelder: Mitsubishi Rayon Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011004787
Aktenzeichen
EP10797098
Anmeldetag
5. Juli 2010
Veröffentlichung
13. Januar 2011
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/26C08F220/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Rayon Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Rayon

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Kohlenstofffasern und Kunststoffe, seit 2017 als Mitsubishi Chemical firmierend.

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