Methods of utilizing block copolymer to form patterns

WO2011005389 Art A2 13. Januar 2011

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011005389
Aktenzeichen: EP10797502
Anmeldetag: 2. Juni 2010
Veröffentlichung: 13. Januar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/8239

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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