Mikrospiegelanordnung mit Beschichtung sowie Verfahren zu deren Herstellung

WO2011006685 Art A1 20. Januar 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011006685
Aktenzeichen: EP10714601
Anmeldetag: 1. April 2010
Veröffentlichung: 20. Januar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/22G02B26/08G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von