Irradiation device

WO2011007663 Art A1 20. Januar 2011

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011007663
Aktenzeichen
EP10799723
Anmeldetag
29. Juni 2010
Veröffentlichung
20. Januar 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H01J65/00B01J19/08B08B7/00H01L21/304H05H1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

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