Mask blank and transfer mask

WO2011007800 Art A1 20. Januar 2011

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011007800
Aktenzeichen
EP10799858
Anmeldetag
14. Juli 2010
Veröffentlichung
20. Januar 2011
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/08H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hoya Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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