Mask blank and transfer mask
WO2011007800
Art A1
20. Januar 2011
Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011007800
- Aktenzeichen
- EP10799858
- Anmeldetag
- 14. Juli 2010
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/08H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hoya Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hoya
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.
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Vertreten von
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