Cantilever microvalve structure and method of fabricating same

WO2011008070 Art A1 20. Januar 2011

Anmelder: Mimos Berhad 🇲🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011008070
Aktenzeichen: EP10800080
Anmeldetag: 12. Juli 2010
Veröffentlichung: 20. Januar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B81B5/00B01L99/00B81B3/00F16K99/00H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mimos Berhad
Land: 🇲🇾 Malaysia

🇲🇾 Mimos Berhad

Malaysisches staatliches Forschungsinstitut für Informations- und Kommunikationstechnologie mit Sitz in Kuala Lumpur. Die Patente decken Halbleitertechnik, Mikroelektronik und IT-Sicherheit ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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