Etchant composition and etching process for titanium-aluminum complex metal layer

WO2011009764 Art A1 27. Januar 2011

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011009764
Aktenzeichen: EP10731527
Anmeldetag: 13. Juli 2010
Veröffentlichung: 27. Januar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/02C23F1/16H05K3/06H01L21/3213B44C1/22C09K13/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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