Rotation transmission mechanism, conveyance device and drive device

WO2011010448 Art A1 27. Januar 2011

Anmelder: Sowa MD Center Co., Ltd., Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011010448
Aktenzeichen: EP10802069
Anmeldetag: 20. Juli 2010
Veröffentlichung: 27. Januar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: F16H1/46B25J9/06H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sowa MD Center Co., Ltd.
Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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