Method for treating a surface coated with a film, and device for treating a surface coated with a film

WO2011010653 Art A1 27. Januar 2011

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011010653
Aktenzeichen: EP10802273
Anmeldetag: 21. Juli 2010
Veröffentlichung: 27. Januar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/28H01L21/285H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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