Holding Arrangement For an Optical Element

WO2011012264 Art A1 3. Februar 2011

Anmelder: Carl Zeiss Laser Optics GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011012264
Aktenzeichen
EP10737292
Anmeldetag
23. Juli 2010
Veröffentlichung
3. Februar 2011
Rechtsraum
WO
IPC
G02B7/00G02B7/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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