Low and high pressure proximity sensors

WO2011012368 Art A1 3. Februar 2011

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011012368
Aktenzeichen: EP10725423
Anmeldetag: 15. Juni 2010
Veröffentlichung: 3. Februar 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01B13/12G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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